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    飞行时间二次离子质谱仪

    飞行时间二次离子质谱仪SurfaceSeer I

    产品概述

    TOF-SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术，它通过一次离子束脉冲轰击样品表面，层叠碰撞产生二次离子， 根据二次离子飞行时间分离不同质荷比离子，对被轰击的样品表面（1-3个原子层）进行分析， 能够检测包括氢在内的全部元素及其同位素的信息，并能分析化合物组分和分子构成。

    应用范围

    广泛应用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、玻璃、环境、生命科学、刑侦等领域的各种固体材料的分析，提供样品表面、界面、薄层详细信息。

    热点领域：
    半导体： 表面沾污、工艺处理后表面残余物和缺陷分析，超浅层深度剖析等；
    新能源电池： SEI/CEI膜、 电解液与添加剂作用机制研究等； 
    生物医学：代谢组学、脂质组学、药物亚细胞分布和作用机制研究等；
    先进材料：材料结构与功效分析。

    产品特点

    25kV高能量液态金属离子枪(LMIG)结合防振框架，空间分辨率和质量分辨率更优；

    LMIG可进行数字扫描，配置成像系统可实现纳米级成像分析；

    二次电子检测系统，实现表面形貌成像与束流调谐；

    5keV气体溅射枪系统，支持刻蚀清洁与深度剖析，揭示三维结构；

    电子脉冲中和，可分析导电和绝缘样品；

    可选SIMS库包含上千种材料的质谱数据，可识别未知的化合物和材料。

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